Die Elektronenstrahlmikroanalyse (ESMA; engl. electron probe micro analysis, EPMA, oder X-ray microanalysis) dient primär der zerstörungsfreien Analyse von Festkörperoberflächen mit lateraler Auflösung bis zu 1 µm. Das Prinzip beruht auf der wellenlängendispersiven Analyse (WDS oder auch WDX) oder energiedispersiven Analyse (EDS oder auch E...