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Tiefes Ultraviolett
(deep UV) UV-Strahlung mit einer Wellenlänge von 200-300 nm, wie sie z.B. für Waferstepper (248 nm) verwendet wird.
Gefunden auf
https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=T&id=21304&page=1
Tiefes Ultraviolett
(deep UV) UV-Strahlung mit einer Wellenlänge von 200-300 nm, wie sie z.B. für Waferstepper (248 nm) verwendet wird.
Gefunden auf
https://www.elektroniknet.de/lexikon/?s=2&k=T&id=21304&page=1
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