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Sublimationsepitaxie
(sublimation epitaxy) Herstellung von Kristallschichten aus der Dampfphase, die durch Sublimation eines polykristallinen Materials entsteht.
Gefunden auf
https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=S&id=28858&page=1
Sublimationsepitaxie
(sublimation epitaxy) Herstellung von Kristallschichten aus der Dampfphase, die durch Sublimation eines polykristallinen Materials entsteht.
Gefunden auf
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