Subst. (silicon-on-sapphire) Ein Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, bei dem die Bauelemente in einer dünnen Siliziumschicht ausgebildet werden, die auf einem isolierenden Substrat aus synthetischem Saphir aufgebracht ist. Gefunden auf https://www.enzyklo.de/Lokal/40099
Subst. (silicon-on-sapphire) Ein Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, bei dem die Bauelemente in einer dünnen Siliziumschicht ausgebildet werden, die auf einem isolierenden Substrat aus synthetischem Saphir aufgebracht ist.