Als Siliciumtetrahalogenide (auch Tetrahalogensilane) bezeichnet man Verbindungen des Typs SiX4, wobei X für eines der Halogene Fluor, Chlor, Brom oder Iod steht. Es sind Derivate des Monosilans, wobei alle Wasserstoff-Atome durch Halogene ersetzt sind. Neben den vier reinen Siliciumtetrahalogeniden sind auch gemischte Tetrahalogensilane bekannt,...