(clean room technology) (RRT) Für die Ausbeute in der Halbleiterherstellung von extremer Bedeutung, weil auch kleinste Schmutz- und Staubpartikel groß sind im Vergleich zu den Halbleiterstrukturen auf Mikrochips und diese sehr leicht unbrauchbar ...
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https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=R&id=19135&page=1
(clean room technology) (RRT) für die Ausbeute in der Halbleiterherstellung von extremer Bedeutung, weil auch kleinste Schmutz- und Staubpartikel gro sind im Vergleich zu den Halbleiterstrukturen auf Mikrochips und diese sehr leicht unbrauchbar machen können. Es gibt diverse Klassen von RRT, je nach erforderlicher Reinheit.
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https://www.elektroniknet.de/lexikon/?s=2&k=R&id=19135&page=1
Arbeitsmethode zum Erlangen weitgehend partikelfreier und daher auch steriler Atmosphären (reiner Räume, reiner Werkbänke) in Produktions-, Abfüll-, Verpackungs-, Prüf- oder anderen Bereichen. Normen dazu sind u. a.: VDI 2083, Reinraumtechnik, Blatt 1 †“ 3. US-Federal-Standard D 209, BS 5295, Part 1†“ 3.
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https://www.gbt.ch/Lexikon/R/3259_Reinraumtechnik.html
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