Mikrominiaturisierung, Halbleitertechnik: Verkleinerung (Miniaturisierung) der Strukturelemente monolithischer integrierter Schaltkreise bis an die Grenzen der Maskentechnik, die durch Beugung der verwendeten Strahlen gegeben ist. Mit Lichtoptik erreicht man Strichbreiten < 0,2 μm, mit Röntgenst...
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Verkleinerung elektronischer Schaltungen und Bauteile durch Anwendung der Mikromodultechnik, von integrierten Schaltungen und Festkörperschaltungen. Mikroelektronik.
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