(Micro Electromechanical Machine System, MEMS) Mikroskopisch klein gefertigtes elektromechanisches System. Mit M. lassen sich auf kleinstem Raum elektrische und mechanische Vorgänge realisieren, gewissermaßen mit einer Mikro-Maschine.
Gefunden auf
https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=M&id=28088&page=1
(Micro Electromechanical Machine System, MEMS) Mikroskopisch klein gefertigtes elektromechanisches System. Mit M. lassen sich auf kleinstem Raum elektrische und mechanische Vorgänge realisieren, gewissermaßen mit einer Mikro-Maschine.
Gefunden auf
https://www.elektroniknet.de/lexikon/?s=2&k=M&id=28088&page=1
Keine exakte Übereinkunft gefunden.
