Die Gasphasenzersetzung ({enS|vapour phase decomposition}, VPD) ist eine Probenpräparationsmethode der Analytischen Chemie zur Aufkonzentration von vorrangig metallischen Verunreinigungen auf (Silizium-)Proben. Sie wird unter anderem in der Halbleiterindustrie verwendet, um die Empfindlichkeit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF)...