Der erste Schritt bei der Herstellung von Halbleiter-ICs. Bis der Herstellungsprozess (mit der Auslieferung fertiger Halbleiterbausteine) zu Ende ist, mssen viele Phasen durchlaufen werden, die jede für sich genommen für qualität und Ausbeute entscheidend sind. Schwchen in einer Phase lassen sich durch stärken in einer nachfolg...